WAlN-SA600規格書
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版本:2018-10-20

湖北深紫科技有限公司

產品規格書
SPECIFICATIONS

深紫外核心材料 · AlN外延片/模板

WAlN-SA600

1.5~3 μm,(002) ≤ 80 arcsec,(102) ≤ 80 arcsec

SA600

湖北深紫科技有限公司

Hubei DUVTek Co., LTD.

湖北省鄂州市梧桐湖新區鳳凰大道9號東湖高新科技創意城B08棟
Building B08, Donghu High-tech Innovation City, No. 9 Fenghuang Avenue, Wutong Lake New District, Ezhou, Hubei, China

  • 規格參數 Characteristics
  • 性能 Properties 參數值 Value
    直徑 Diameter50.8±0.05 μm
    外延層厚度 Epilayer Thickness1.5~3 μm
    (002) 晶體質量 Crystal quality (FWHM of 002 XRC)≤ 80 arcsec
    (102) 晶體質量 Crystal quality (FWHM of 102 XRC)≤ 600 arcsec
    正面粗糙度 Front side roughness≤ 2 nm
    邊緣扣除 Edge exclusion≤ 3 mm
    貫穿裂紋 Through Cracknone
    襯底厚度 Substrate Thickness430±20 μm
    a面(11-20)取向 Surface orientation of a-plane0°±0.1°
    m面(11-20)取向 Surface orientation of m-plane0.2°±0.1°
    定位邊晶向 Primary flat orientationa-plane±0.1°
    定位邊長度 Primary flat length16±1mm
    反面粗糙度 Back side roughness0.8±0.2 μm

    深紫科技,芯片級深紫外LED殺菌技術開拓者